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山西大学紫外光刻机采购项目(SDDY-220305) 单一来源征求意见公示 来源: 作者:

一、项目信息

采购人:山西大学

项目名称: 山西大学紫外光刻机采购项目

拟采购的货物或服务的说明:

山西大学拟购置ABM Inc公司生产的紫外光刻机主要用于离子阱量子计算研究。芯片离子阱量子计算的实验中,需要通过芯片阱的设计来突破常规离子阱的规模限制,从而获得更大规模的离子阱量子位其光刻有效范围: 6英寸方形;曝光精度:0.6um微米(NUV);分辨率小于1微米;光照强度不均匀性指标(以365nm波长为参考)±3% 辐照中心点6英寸范围内;对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍 ,分视野;对准精度≤±0.5微米;放大倍率连续可调:标配100-800X。目前能满足上述特点的紫外光刻机只有美国ABM Inc公司生产,所以申请单一来源购置该紫外光刻机

本次拟购买的美国ABM Inc公司生产的紫外光刻机设计易于操作、稳定性极高,具有稳定的可重复曝光功能,可以实现均匀可控的紫外光输出,是完成实验研究和教学科研工作中必不可少的设备之一。

拟采购的货物或服务的预算金额: 999600

采用单一来源采购方式的原因及说明:目前满足上述参数的紫外光刻机,只有美国ABM Inc公司生产,北京泰和浩天科技有限公司是美国ABM Inc公司在中国此项目授权的唯一代理商,因此,申请以单一来源方式采购。

二、拟定供应商信息

名称: 北京泰和浩天科技有限公司

地址: 北京市朝阳区阜通东大街12号楼14层(15)1401  

三、公示期限

2023522 2023 526 公示期限不得少于5个工作日

四、其他补充事宜:

五、联系方式

1.采购人

联 系 人:   

联系地址: 山西省太原市坞城路92号 

联系电话:   0351-7011255   

2.监督部门

联系人: 山西省财政厅政府采购管理处

联系地址: 太原市小店区学府街41号

联系电话: 0351-4123278

附件

1、专业人员论证意见

2、紫外光刻机采购项目明细



附件2:

紫外光刻机采购项目明细

序号

货物名称

数量

单位

预算单价(元)

预算总价(元)

品牌规格型号及配置技术参数

备注

1

紫外光刻机

1

999600

999600

1.主要技术指标:

*1.1 要求350W近紫外光源和双通道固定光强和固定功率电源控制器,紫外波长范围350-450nm 6英寸方形光刻辐照输出光源

*1.2 可达到输出紫外光强照度参数如下:

365 nm – 18-20 mw/cm2

400 nm – 35-40 mw/cm2

*1.3 光刻有效范围: 6英寸方形

*1.4 光照强度不均匀性指标(以365nm波长为参考): ≤±3% (辐照中心点6英寸范围内)

*1.5 光刻最佳分辨率­:≤0.6微米

*1.6 对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍

*1.7 对准精度:≤±0.5微米

*1.8 显微镜系统需具备位置记忆功能(即显微镜可以自动回到上一次设定的位置)

*1.9 具备氮气通入功能(可于掩模板和基板之间通入氮气使其分离)

1.10 需具备携行补偿模式的自动Z轴方向水平补偿功能

*1.11 对准工作台调整范围:X轴±12.5mm,Y轴±12.5mm,θ角±5°,Theta精度:±0.0001度

1.12 曝光模式支持接近式、软接触、硬接触、真空接触;

1.13 配置温度及气流感应器并带有安全控制开关;

1.14 配置氮气通路,可用于掩膜板和基板之间分离

2. 光源部分

2.1 光强控制:恒光强和恒功率选择控制,光强和功率可调;

3. 光强均匀性

3.1 ±3%,150mm″晶圆基板;

3.2 ±2%,100mm″晶圆基板;

3.3 ±1%,50mm″晶圆基板;

3.4 紫外光灯源波长范围:350~405nm;

3.5 曝光时间:0.1~999.9s联系可调,最小调节尺度0.1s。

4. 配置

4.1 抗衍射光反射镜及蝇眼棱镜。

5. 对准系统

5.1 配备棱镜对准装置,最小双视场对准间距≦10mm;

5.2 对准工作台调整范围:X轴±12.5mm,Y轴±12.5mm,θ角±5°,Theta精度:±0.0001度;

6. 其他配置

6.1 进口无油真空泵:压力25-27mmHg;

6.2 抗震台;

进口

合计

999600

2023-05-22
常用链接+

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