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紫外光刻机

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套

999600

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1.主要技术指标：

*1.1 要求350W近紫外光源和双通道固定光强和固定功率电源控制器，紫外波长范围350-450nm 6英寸方形光刻辐照输出光源

*1.2 可达到输出紫外光强照度参数如下：

365 nm – 18-20 mw/cm2

400 nm – 35-40 mw/cm2

*1.3 光刻有效范围： 6英寸方形

*1.4 光照强度不均匀性指标（以365nm波长为参考）: ≤±3% （辐照中心点6英寸范围内）

*1.5 光刻最佳分辨率­：≤0.6微米

*1.6 对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍

*1.7 对准精度:≤±0.5微米

*1.8 显微镜系统需具备位置记忆功能(即显微镜可以自动回到上一次设定的位置)

*1.9 具备氮气通入功能(可于掩模板和基板之间通入氮气使其分离)

1.10 需具备携行补偿模式的自动Z轴方向水平补偿功能

*1.11 对准工作台调整范围：X轴±12.5mm，Y轴±12.5mm，θ角±5°，Theta精度：±0.0001度

1.12 曝光模式支持接近式、软接触、硬接触、真空接触；

1.13 配置温度及气流感应器并带有安全控制开关；

1.14 配置氮气通路，可用于掩膜板和基板之间分离

2. 光源部分

2.1 光强控制：恒光强和恒功率选择控制，光强和功率可调；

3. 光强均匀性

3.1 ±3%，150mm″晶圆基板；

3.2 ±2%，100mm″晶圆基板；

3.3 ±1%，50mm″晶圆基板；

3.4 紫外光灯源波长范围：350～405nm；

3.5 曝光时间：0.1～999.9s联系可调，最小调节尺度0.1s。

4. 配置

4.1 抗衍射光反射镜及蝇眼棱镜。

5. 对准系统

5.1 配备棱镜对准装置，最小双视场对准间距≦10mm；

5.2 对准工作台调整范围：X轴±12.5mm，Y轴±12.5mm，θ角±5°，Theta精度：±0.0001度；

6. 其他配置

6.1 进口无油真空泵：压力25-27mmHg；

6.2 抗震台；

进口

合计

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