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山西大学低温显微镜、原子层沉积设备（SDDY-20005）单一来源征求意见公示 来源： 作者：

山西大学就低温显微镜、原子层沉积设备项目申请单一来源方式采购，该项目预算金额372万元，拟成交供应商为太原能谱科技有限公司。

山西大学申请购置的低温显微镜主要用于单量子体系量子相干动力学特性的实验研究。该项目包括3.2K - 350K全干式标准样品腔基础系统，样品空间：Φ53mm ×63mm；5个光学窗口，触屏控制模式；室温镜头集成套装（包括特殊设计腔体、屏蔽罩、镜头加热环、UPS等）；真空适用型100X蔡司镜头，NA0.9，工作距离1mm（包含镜头转接环，准直系统）；闭环位移器套装等。该款低温显微镜集成了低温恒温器和显微物镜，拥有稳定的温控和较低的振动，利用高数值孔径低温物镜可以实现低温高精度显微成像，满足实验室科研教学过程中单量子体系降温和高信噪比观测的要求。

原子层沉积设备主要用于微纳光学的实验研究。该项目包括6路前驱源管路，其中5路前驱源管路都可以适应低蒸汽压源、高蒸汽压源、或气体前驱源，1路配有前驱源助推装置，8英寸样品室，等离子源，一个模制、闭环、前驱体加热套，14.6CFM泵以及包含操作系统的计算机。该设备可用于已经开展的微纳材料加工过程中所必需的高质量样品的表面钝化防护纳米级别镀膜。不论什么特殊形状、复杂的、高深宽比的器件，该设备均可在样品表面镀上均匀的高密度的薄膜，对于器件的钝化防护起着至关重要的作用，该设备将是未来开展科研任务的核心设备，将承担大量的科研教学任务，为实验室发展及有关项目的实施提供必要的保障。

根据实验要求，我们购买的实验设备需要满足的主要技术参数如下：

1、低温显微镜，型号：Cryo-OPTIC S50 CO，参数：自动控温：3.2K - 350K 样品台（无液氦），温度稳定性：<10mK（峰-峰值），震动稳定性： <80nm（峰-峰值，已含位移器震动），降温时间：300K – 4.2K ~3.5小时，样品空间：Φ53mm ×63mm，热沉数量：2个，光学窗口：5个光学窗口，镜头类型：Zeiss 100x数值孔径： 0.9，工作距离：4mm; 1mm，电学通道：20个，接口面板：2个，可集成RF, DC, 光纤等，样品移动：集成三维位移器，位置漂移：<1um/K（变温过程中最大漂移率）<100nm (温度不变时最大漂移范围)。

2、原子层沉积设备，型号：Savannah S200，参数：设备可用于8寸及以下的平面样品的薄膜生长，反应腔高度不高于8mm。反应腔采用双区独立加热，分别用于加热样品和腔室壁。基片加热温度最高350℃，控温精度±1℃。单片反应腔抽取真空速度须在1分钟内达到510^-2Torr，充腔时间须在1分钟内完成。配备6路前驱源管路，其中5路前驱源管路都可以适应低蒸汽压源、高蒸汽压源、或气体前驱源，其中1路配有前驱源助推装置。前驱源脉冲时间可精确控制到0.015s，以TMA为例，其脉冲时间可短到0.015s。从前驱源瓶到管路，腔室，尾气管路，粉末阱等各部件，只要前驱源能达到的地方都有加热功能，避免前驱源的冷壁吸附造成颗粒。

目前，能满足上述技术要求的低温显微镜只有美国Montana Instruments公司生产， Quantum Design中国子公司是美国Montana Instruments公司在亚洲及欧洲地区的唯一代理商，并且该公司委托太原能谱科技有限公司为该采购项目的国内唯一分销商。能满足上述技术要求的原子层沉积设备只有美国维易科（Veeco）仪器公司生产，香港电子器材有限公司是美国维易科（Veeco）仪器公司在亚太地区的唯一代理商，并且该公司委托太原能谱科技有限公司为该采购项目的国内唯一分销商。因此，申请以单一来源方式采购。

单位会商和专家论证意见：经山西大学激光光谱研究所所领导、科研人员和采购小组调研，聘请校外专家进行详细的论证，该设备的采购符合我国采购法关于单一来源采购的要求，申请此项目以单一来源方式采购。

现将以上情况进行公示，向潜在政府采购供应商征求意见，征求意见期限从2020年10月20日起至2020年10月27日止（五个工作日）。潜在政府采购供应商对公示内容有异议的，请在公示期内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式向采购单位或山西省财政厅政府采购管理处反馈，逾期不再受理。

供应商名称：太原能谱科技有限公司

供应商地址：太原市坞城路43号办公楼二层

供应商联系人：李紫玲联系电话：18535120512

采购单位：山西大学

地址:山西省太原市坞城路92号

项目联系人：范卓华联系电话：0351-7011255

邮编：030006

单一来源专家论证意见表

采购项目名称		低温显微镜、原子层沉积设备
项目清单	1	低温显微镜，型号：Cryo-OPTIC S50 CO
项目清单	2	原子层沉积设备，型号：Savannah S200
论证专家基本情况	序号	姓名	职称	工作单位
	1	降雨强	教授	中科院遗传与生物发育研究所
	2	李传亮	教授	太原科技大学
	3	薛晨阳	教授	中北大学
申请单一来源理由	根据实验要求，我们购买的实验设备需要满足的主要技术参数如下： 1、低温显微镜，型号：Cryo-OPTIC S50 CO，参数：自动控温：3.2K - 350K 样品台（无液氦），温度稳定性：<10mK（峰-峰值），震动稳定性： <80nm（峰-峰值，已含位移器震动），降温时间：300K – 4.2K~3.5小时，样品空间：Φ53mm ×63mm，热沉数量：2个，光学窗口：5个光学窗口，镜头类型：Zeiss 100x，数值孔径： 0.9，工作距离：4mm到 1mm，电学通道：20个，接口面板：2个，可集成RF, DC, 光纤等，样品移动：集成三维位移器，位置漂移：<1um/K（变温过程中最大漂移率）<100nm (温度不变时最大漂移范围)。 2、原子层沉积设备，型号：Savannah S200，参数：设备可用于8寸及以下的平面样品的薄膜生长，反应腔高度不高于8mm。反应腔采用双区独立加热，分别用于加热样品和腔室壁。基片加热温度最高350℃，控温精度±1℃。单片反应腔抽取真空速度须在1分钟内达到510^-2Torr，充腔时间须在1分钟内完成。配备6路前驱源管路，其中5路前驱源管路都可以适应低蒸汽压源、高蒸汽压源、或气体前驱源，其中1路配有前驱源助推装置。前驱源脉冲时间可精确控制到0.015s，以TMA为例，其脉冲时间可短到0.015s。从前驱源瓶到管路，腔室，尾气管路，粉末阱等各部件，只要前驱源能达到的地方都有加热功能，避免前驱源的冷壁吸附造成颗粒。目前，能满足上述技术要求的低温显微镜只有美国Montana Instruments公司生产， Quantum Design中国子公司是美国Montana Instruments公司在亚洲及欧洲地区的唯一代理商，并且该公司委托太原能谱科技有限公司为该采购项目的国内唯一分销商。能满足上述技术要求的原子层沉积设备只有美国维易科（Veeco）仪器公司生产，香港电子器材有限公司是美国维易科（Veeco）仪器公司在亚太地区的唯一代理商，并且该公司委托太原能谱科技有限公司为该采购项目的国内唯一分销商。因此，申请以单一来源方式采购。
专家论证意见	降雨强：此次山西大学拟购置的低温显微镜用于低温下单量子体系荧光探测需要良好的温度稳定性、震动稳定性以及高信噪比的低温显微成像。低温恒温与显微成像相结合的方案只有美国Montana Instruments公司可以提供，满足实验所需参数。拟购置的原子层沉积设备用于微纳材料的加工，需要的是单腔热壁设计的腔室，可以实现双区独立均匀加热，保证腔室底部和腔室壁的温度独立可控，且保证腔室壁温度和底部一致。只有Veeco公司的Savannah S200具有上述所有功能，建议以单一来源方式采购该两台设备。李传亮：此次山西大学拟购置的低温显微镜用于单量子体系量子相干动力学特性研究需要同时满足低温条件和高信噪比荧光探测。需要满足的主要技术参数包括高的温度稳定性和可调谐性、高震动稳定性、高荧光收集效率以及低温样品可移动。目前，满足所列技术参数的系统只有美国Montana Instruments公司可以提供。此次山西大学拟购置的原子层沉积设备用于微纳光学的实验研究。其对前驱源脉冲时间需精确控制到0.015s，以TMA为例，其脉冲时间需短到0.015s；对膜厚均匀性的控制精确度较高，需达到<±1.5％，目前只有Veeco公司生产的原子层沉积能够满足上述要求。所以建议该两台设备以单一来源的方式进行采购。薛晨阳：此次山西大学拟购置的低温显微镜用于低温单量子体系量子相干动力学特性研究，可以保证样品温度可操控的同时，实现单量子体系荧光显微成像和高信噪比荧光探测。该低温显微镜是满足量子相干测量和操控的核心实验设备之一。目前该产品只有美国Montana Instruments公司可以提供。此次山西大学拟购置的原子层沉积设备将用于微纳光学的实验研究。其加热部分从前驱源到管路，腔室，尾气管路，粉末阱等各部件，只要前驱源能到达的地方都有加热功能，避免前驱源的冷壁吸附造成颗粒，目前只有Veeco公司的该系列产品满足这些需求。所以建议以单一来源方式采购该两台设备。